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专利与软件著作权

专利名称    一种用于硬掩壁和硅片的对准夹紧装置及方法
申请号    CN202310737473.9
专利类型    发明
发明人    王海容 胡宗鑫 唐闫焜 罗钰 张群明
申请日期    2023.06.21
代理人    覃婧婵
学院    机械学院
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