专利与软件著作权

专利名称    基于掺铝氧化锌多孔纳米薄膜的MEMS甲醛传感器的制备方法
申请号    CN202011053124.8
专利类型    发明
发明人    张铭;王久洪;唐闫焜;王海容
申请日期    2020.09.29
代理人    姚咏华
学院    机械学院