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科学研究 - 刘 迎文
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科研项目
项目名称
多晶硅化学气相沉积过程中多场协同机理研究(****)
项目来源
重点实验室基金项目
起始时间
2014-6~
项目经费
万元
项目类别
纵向项目
状态
进行中
项目优势
技术优势
可行性
简介
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