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科研项目

项目名称    多晶硅化学气相沉积过程中多场协同机理研究(****)
项目来源    重点实验室基金项目
起始时间    2014-6~
项目经费    万元
项目类别    纵向项目
状态    进行中
项目优势   
技术优势   
可行性   
简介   
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