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论文标题    Radio frequency magnetron sputtering of Au and low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition of silicon nitride for ring ultramicroelectrodes fabrication
作者    蒋庄德
发表/完成日期    2006-09-07
期刊名称    Journal of Electroanalytical Chemistry
期卷    596(2)
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论文简介    SCI：094CJ
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