科研项目

项目名称    GaN基半导体外延膜的残余应力对缺陷组态和外延生长的影响研究(xjj2011045)
项目来源    国务院各部委项目
起始时间    2011-1~
项目经费    9万元
项目类别    纵向项目
状态    进行中
项目优势   
技术优势   
可行性   
简介