传统硅基MEMS传感器制造工艺成熟，但压阻系数有限，且材料性能易受极端环境影响。石墨烯、非晶碳、二硫化钼等新型半导体功能薄膜具有优异的机械性能、化学特性和压阻性能，并能与MEMS技术兼容。围绕上述新型敏感材料，调控材料功能与优化敏感结构，揭示复杂键态材料体系下的压阻机理，开展新一代MEMS传感器的研究并应用，为满足航空航天、辐射、高温、海洋等严苛服役环境的传感测试技术奠定重要基础。

近年来柔性传感器已在生物医疗、智能穿戴、微电子及信息技术领域等得到了广泛的应用，本项目发明出柔性应变传感器、柔性压力传感器，并已经应用于人体动态信号监测、机器手等自动控制系统等领域。其中柔性应变传感器的应变量程可达0.5，且平均压阻系数可达到746.7，最高可以达到2684.9；柔性压力传感器实现0~6Mpa可控量程。

本项目制作的3D打印加速度计利用不同印刷技术的组合，使用了高温树脂通过基于SLA的打印机打印传感器基板，并通过丝网印刷或DIW技术在基板的表面上打印基于碳浆的应变计。从微观的角度阐明了碳浆的导电机理和压阻机理，并成功的将此3D打印加速度计用于人体运动测量领域，灵敏度达11.9857 mV/g。 重要的是，由于使用了台式消费者级别的3D打印机，加速度计可在几小时内制成，成本非常低，意味着从传感器设计到传感器原型是一种快速简便的方法。本项研究为制造加速度计提供了一种经济高效的方法。