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教学 - 王 兆宏
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出版物
标题
微纳加工科学原理
作者
唐天同,王兆宏
出版日期
2010-06-01
出版社
电子工业出版社
简介
著作者具有几十年从事微纳加工技术、电子科学与技术等方面科研和教学的丰富经验,在著作者科研和教学成果积累的基础上,广泛参阅国内外该学科已有成果编写成本书。其内容全面、新颖,且系统反映了21世纪初本学科知识的研究现状和发展,特别是对纳米尺度的微细加工以及各种最新微细加工方式的原理、工艺技术、应用和发展前景进行了较为全面的阐述,让学生拥有国际前沿的开拓性视野和创新性思维。
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