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发布时间：2020-05-28
发布时间：2020-05-28
文章标题：全真空装备1- 专利授权：一种超高真空除气装置及方法
内容：
该专利是本课题组在超高真空设备技术开发方面系列工作中第一个授权的专利，主要贡献学生为吴迪同学。
潘毅 (教授)
博士生导师 硕士生导师
电子邮箱：
所在单位：材料科学与工程学院
学历：博士研究生毕业
办公地点：
性别：男
联系方式：
学位：博士
学科：半导体材料与器件
物理学
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