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潘毅

教授博士生导师硕士生导师

学历：博士研究生毕业
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院

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全真空装备3 - 专利授权：一种微型多源金属超薄膜电极超高真空蒸镀装置及方法

发布时间：2022-08-25

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发布时间：: 2022-08-25

文章标题：: 全真空装备3 - 专利授权：一种微型多源金属超薄膜电极超高真空蒸镀装置及方法

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