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潘毅

教授博士生导师硕士生导师

学历：博士研究生毕业
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院

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全真空装备8 - 专利授权：一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台

发布时间：2025-08-13

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发布时间：: 2025-08-13

文章标题：: 全真空装备8 - 专利授权：一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台

内容：

该专利主要完成人为本组2024届毕业生张又麒同学，他目前从事半导体芯片制造工艺相关研发工作。