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科研项目

项目名称    超大规模集成电路制造装备基础问题研究/纳米结构的外场诱导流变成形规律与控制(2009CB724202)
项目来源    973项目课题
起始时间    2009-1~
项目经费    360万元
项目类别    纵向项目
状态    进行中
项目优势   
技术优势   
可行性   
简介   
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