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科研项目

项目名称    新型三维结构刻蚀技术(2003AA404040)
项目来源    “863”高科技项目
起始时间    2003-1~2005-1
项目经费    25万元
项目类别    纵向项目
状态    已完成
项目优势   
技术优势   
可行性   
简介   
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