项目名称：耐等离子体刻蚀氧化钇陶瓷涂层开发

项目状态：进行中

项目分类：横向项目

项目来源：江苏凯威特斯半导体科技有限公司

项目编号：202307151

立项时间：2023-07-01

结项日期：2026-06-01

资助额度(万元)：1400.0

发布时间：2025-04-30