课题组在权威期刊Vacuum上发表最新文章
发布时间:2026-04-30
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- 2026-04-30
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课题组李丹童博士后在权威期刊Vacuum上发表文章 :Design of a novel intersecting-axis meshing Quimby-tooth dry screw vacuum pump
论文面向半导体、光伏等高端制造对干式螺杆真空泵高洁净、高能效、高集成的需求,首次将相交轴啮合结构引入奎姆比齿干式螺杆真空泵,建立该新型转子完整几何生成与特征量化数学模型,提出两种基础设计方法,通过 3D 打印样机与商用三维软件完成模型验证,并对比传统平行轴锥形螺杆转子开展定量几何性能分析;研究表明相交轴结构可使转子体积缩减 24%、泄漏通道总长缩短 32%、同步齿轮啮合线速度降低 44.5%,同时大幅提升内容积比、减小排气侧气体受力与齿顶热变形,但存在转子轴向长度增加 16%、排气侧散热面积下降 13.8%、加工难度与轴承布置受限等短板,推荐固定齿根半径的第二种设计方案平衡性能与结构可靠性,研究为下一代干式螺杆真空泵设计提供理论基础,也指出后续需完善动力学、热力学与整机试验以推进该技术落地。





