课题组在权威期刊Applied Thermal Engineering发表文章
发布时间：2026-09-19
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- 发布时间：
- 2026-09-19
- 文章标题：
- 课题组在权威期刊Applied Thermal Engineering发表文章
- 摘要：
- 课题组孙崇洲博士Applied Thermal Engineering发表文章
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课题组孙崇洲博士权威期刊Applied Thermal Engineering上发表文章，题目：
Thermally induced micro-deformation and radial clearance leakage mechanisms in dry roots vacuum pumps: An experimentally informed sequential FEM-BGK-LBM investigation
本研究针对干式罗茨真空泵（DRVP）在半导体与微电子制造中的应用，系统探究了热致径向间隙泄漏机制。研究开发了一套顺序单向耦合框架—— 将有限元法（FEM）与 BGK 格子 Boltzmann 方法（BGK-LBM）相结合：先用 FEM 计算转子与泵壳的热变形及间隙变化，构建热态间隙几何；再用 BGK-LBM 预测过渡流下的稀薄气体泄漏。该框架串联了温度 — 固体变形 — 间隙变化 — 稀薄气体泄漏的完整链条，为真空泵热间隙设计与运行可靠性评估提供了数值依据。
