Basic Information

 

李村

副教授，西安交通大学，机械工程学院

CSMNT特种元器件分会常务副秘书长

研究方向：MEMS传感器芯片、微纳加工、传感器信号处理

Enrollment Information

学术与专业型硕士研究生4名，其中学术性不超过3名。

1. 学术学位：

080200机械工程：MEMS与微纳制造技术、微纳传感器设计与制造、微纳制造。

080400仪器科学与技术：微纳机械电子系统与微纳米测试技术、精密测试仪器与先进传感器。

2. 专业学位：

085400电子信息：仪器仪表工程。

085500机械：高端/智能制造装备与系统。

Contact Information

办公地点：曲江校区 机械制造系统工程国家重点实验室 A425

邮箱：cun.li@xjtu.edu.cn

 

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Educational Experience

  • 2021.06-至今，西安交通大学，机械工程学院，副教授

  • 2017.10-2021.6，西安交通大学，机械工程学院，讲师

  • 2012.3–2017.9, 西安交通大学, 仪器科学与技术, 博士, 导师: 赵玉龙

  • 2016.07-2017.07，University of Birmingham，CSC联培博士生

  • 2010.9–2012.3, 西安交通大学, 机械工程, 硕博连读(硕士阶段),导师: 赵玉龙

  • 2006.9–2010.6, 山东大学, 机械设计制造及其自动化, 学士。

Research Fields

1. 所在团队：

   教育部“微纳传感与控制”创新团队，负责人：赵玉龙 教授（http://gr.xjtu.edu.cn/web/zhaoyulong）

2. 研究方向：

（1）MEMS微纳传感芯片的建模、仿真与优化

  • 基于石英谐振技术的MEMS加速度计、陀螺、压力传感器芯片；
  • 高频、高温、高精度的压阻式MEMS传感器芯片；
  • 基于SOI技术的耐高温MEMS传感器芯片。

（2）微纳制造工艺

  • 复杂单晶石英MEMS芯片的制备工艺；
  • 压阻式硅MEMS芯片制备工艺；
  • 3D无应力微装配工艺技术；
  • 工艺参数对传感器的性能影响机理。

（3）智能传感器及软硬件信号处理电路开发

  • 硅MEMS智能传感与系统；
  • 闭环谐振电路及其噪音产生机理；
  • FPGA、单片机与ARM系统的嵌入式开发；
  • 误差机理与性能补偿电路。

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科研项目：

  1. 国家自然科学基金，亚ug级传感器的性能调控，52275572，2022年，主持
  2. 陕西省重点产业链，MEMS压力传感器系列，2021年，主持
  3. 国家自然科学基金，石英谐振传感器技术及工艺，2018年，主持。
  4. 基础研究项目子课题，特种压力传感器，主持。
  5. 预研项目子课题，高温压力传感器技术，主持。
  6. 中国博士后科学基金，第63批面上资助，谐振加速度传感器研究，主持。
  7. 科技部重点研发计划子任务，全海深CTD的研发（压力传感器工作），主持。
  8. 专利转让项目，石英谐振传感器专利转让合同，主持。
  9. 西安交通大学，中央高校基本科研业务费，主持。

 

 

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  1. Zhang Q, Li C*, Zhao Y, et al. A Quartz Resonant Ultra-High Pressure Sensor With High Precision and High Stability[J]. IEEE Sensors Journal, 2021, 21(20): 22553-22561. 
  2. Bai B, Li C*, Zhao Y. Development of an effective method to reduce mechanical coupling error in a micro quartz tuning fork gyroscope[J]. Sensors and Actuators A: Physical, 2021, 332: 113058.
  3. Li C, Zhang Q, Zhao Y, et al. The quality factor of quartz DETF for resonant sensors: simulation, analysis and verification[J]. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2021, 31(11): 115001.
  4. Li C, Han C, Zhao Y, et al. Research on micro-leverage in monolithic quartz resonant accelerometer[J]. Review of Scientific Instruments, 2021, 92(2): 025005.
  5.  Han C, Li C*, Zhao Y, et al. High-Stability Quartz Resonant Accelerometer With Micro-Leverages[J]. Journal of Microelectromechanical Systems, 2021.
  6.  Li Cun*, Han Chao, Zhao Yulong, Carl Anthony, Wei Xueyong. Seesaw Capacitive Structure as an Electrostatically Actuated Nonlinear Impact Resonator[J]. Sensors and Actuators A Physical. 2020:112279.
  7. Bo Li, Cun Li*, Yulong Zhao, Chao Han, Quanwei Zhang. Deep Reactive Ion Etching of Z-Cut Alpha Quartz for MEMS Resonant Devices Fabrication. Micromachines. 2020, 11, 724.
  8. Chao Han, Cun Li*, Yulong Zhao, Bo Li, Xueyong Wei. Research on a Micro-Processing Technology for Fabricating Complex Structures in Single-Crystal Quartz. Micromachines 2020, 11, 337.
  9. Zhang Quanwei, Li Cun*, Zhao Yulong, Li Bo, Han, Chao. A high sensitivity quartz resonant pressure sensor with differential output and self-correction. Review of Scientific Instruments. 2019:90(6).
  10.  Li Cun, Zhao Yulong*, Li Bo, Cheng Rongjun, Sun Dengqiang, Han Chao,  Zhao You. A micro-machined differential resonance accelerometer based on silicon on quartz method. Sensors and Actuators A-physical. 2017: 1-9.
  11. Yulong Zhao*, Cun Li, Mengmeng Hao, Rongjun Cheng, Xiaole Fan, Pei Chen. Optical micro-electro-mechanical-system pressure sensor based on light intensity modulation[J]. Micro & Nano Letters. 2015, 10(10): 491-495.
  12. Li Cun, Zhao, Yulong*, Cheng Rongjun, Yu Zhongliang. Microresonant accelerometer composed of silicon substrate and quartz double-ended tuning fork with temperature isolator , MICRO & NANO LETTERS. 2014.10, 9(10): 664~668
  13. Li Cun, Zhao Yulong*, Cheng Rongjun, Yu Zhongliang, Liu Yan. A resonant sensor composed of quartz double ended tuning fork and silicon substrate for digital acceleration measurement. Rev Sci Instrum. 2014; 85(3):035004.