超精密光学测量技术团队致力于应用科学的研究到市场科学的实践，开发了先进的光学轮廓仪、光学粗糙度仪、光学缺陷检测设备等，包括Xshape I、Xshape II、Xshape III、Xshape 400、Xshape 450、microCSI、Dpfilm等，实现三维表面轮廓、表面粗糙度、表面微米-纳米缺陷、透明及半透明材料厚度（覆盖纳米至毫米级尺度）检测，设备已在计量院、半导体行业、精密机械及光学加工车间得到了应用。面向高等院校、研究所、计量部门、半导体行业、超精密加工车间等提供测试服务，出具测试报告和比对结果。