超精密光学测量技术研究小组推出系列光学相干检测设备，包括原理样机、Xshape I、Xshape II、microCSI、Dpfilm等，实现三维表面轮廓、表面粗糙度、透明及半透明材料厚度（覆盖纳米至毫米级尺度），设备已经在计量院、半导体行业、精密机械加工车间等得到了应用。面向高等院校、研究所、计量部门、半导体行业、超精密加工车间等提供广泛的测试服务，出具测试报告和比对结果。