Science Project

主持17项，累计科研经费619.24万。

 

其中国家项目6项：

1、 国家重点研发计划项目课题， MEMS多维力敏感元件关键技术研究， 258万，主持

2、 国家自然科学基金面上项目，基于微纳米周期结构的几何量标准物质可控制备机理及比对溯源体系的研究， 58万，主持

3、 国家重点研发计划项目课题， 纳米几何特征参量计量标准器的研制， 230万元，主持

4、 国家自然科学基金青年项目，基于ALD技术的纳米台阶高度样板的制备与测量溯源研究， 21万，主持

5、 中央军委科技委JG项目课题，JZM-202011003-2面向***研究， 100万，主持

6、 国家基金委共融机器人重点项目子课题，基于材质识别的机器人灵巧手触觉传感系统及其共融技术研究，子课题 “机器人压力传感研究”， 70万元，主持

 

横向课题8项（到款65.24万）：

其他项目6项（到款50万）。

参与科研项目累计科研经费50万。

 

微纳米几何量国家标准物质的关键技术研究

p首次采用原子层沉积（ALD）工艺制备纳米台阶高度样板，可用于纳米测量仪器如AFM、SEM等显微镜的校准

 

微纳米几何量国家标准物质的国际溯源与比对研究

p采用原子层沉积（ALD）工艺精确控制跨尺度纳米栅格标准器特征尺寸，实现特征尺寸单原子级可控

 

功能性器件的研究—电场调控柔性自旋电子器件的磁各向异性

pWang Chenying, et al. ACS Applied Materials and Interfaces, 2018, 10: 29750-29756. SCI: GT2UO, IF=8.097

 

柔性可穿戴器件的研究—基于石墨烯量调控多级微锥阵列形貌的高性能柔性压力传感器

pZhang Yujing, Wang Yuheng, Wang Chenying*, et al. Superior performances via designed multiple embossments within interfaces for flexible pressure sensors, Chemical Engineering Journal, 2023, 454, 139990., IF=16.744