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教师姓名：郭馨
性别：女
职称：教授
博士生导师：是
硕士生导师：是
学历：博士研究生毕业
学位：博士
所在单位：航天航空学院
电子邮箱：
办公地点：
联系方式：

研究领域

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针对国家重大需求，解决高端光刻机研发、航空发动机研发等领域的基础科学和关键工程问题。主要研究包括：

智能芯片制造
光刻机深紫外光源研发
新型微器件设计开发
精密制造与极限表征