High-sensitivity, high-throughput inspection of nanoscale defects using a laser confocal positioning-assisted darkfield imaging system（代表作之一）
发布时间：2025-10-16
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- 发布时间：
- 2025-10-16
- 论文名称：
- High-sensitivity, high-throughput inspection of nanoscale defects using a laser confocal positioning-assisted darkfield imaging system（代表作之一）
- 发表刊物：
- Optics and Laser Technology
- 摘要：
- 团队第一篇系统研究图形化晶圆表面纳米缺陷检测的文章
- 合写作者：
- Jiaqi Hu, Tao Liu*, Peirui Ji, et al
- 卷号：
- 191
- 页面范围：
- 113269
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2025-06-04