追求真理
严谨治学
团结协作
守正创新
吾之初心:
兴趣尚矣 权威将疑 实验为证 初心少年
真理美哉 治学用严 淡泊宁静 潜心为学
吾之志愿:光机电控算 铸高端仪器
本课题组主要从事光学精密测量技术及仪器研究工作,特别是系统深入研究了共焦扫描光学显微技术和白光干涉/相移干涉扫描测量技术。
研制了工业激光共焦测量显微镜、色散共焦测量仪 和 系列白光干涉三维测量装置。
撰写出版著作《三维高分辨率共焦显微成像与测量技术理论》(共55万字,2014.8,哈工大出版社,十二五国家重点图书,读博期间,呕心沥血,四年方成,为代表作)
科研主攻方向:
一、 面向半导体晶圆的光学检测技术及装备
Optical inspection technology and equipment for semiconductor wafers
二、 面向超精密加工的光学检测技术及仪器
3D optical inspection technology and instrument for ultra-precision machining
三、 面向超快激光加工的光学实时定焦技术
Real-time optical focusing technology for ultrafast laser processing
教学:
本科生课《光学》
研究生课《显微学》
招生:
每年招收不超过 3名 硕士研究生(机械、光学、电子、仪器、物理等专业背景);
每年招收 1~2名博士研究生;
每年可招收 1~2名 同等学力研究生;
每年指导 1~3名 本科生完成毕业论文




