High-sensitivity optical scattering inspection method for nanoscale morphological defects on SiC wafers
发布时间：2026-09-30
点击次数：
- 发布时间：
- 2026-09-30
- 论文名称：
- High-sensitivity optical scattering inspection method for nanoscale morphological defects on SiC wafers
- 发表刊物：
- Photonics
- 合写作者：
- Jiaqi Hu, Hongli Liu, Yihong Huang, Yifan Shao, Zhong Huang, Guofeng Zhang, Tao Liu,* et al
- 论文类型：
- 期刊论文
- 卷号：
- 13
- 期号：
- 926
- 页面范围：
- 1-14
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2026-09-30
- 收录刊物：
- SCI