一种基于自适应局部频域滤波的图形晶圆缺陷检测方法
发布时间：2026-09-30
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- 专利名称：
- 一种基于自适应局部频域滤波的图形晶圆缺陷检测方法
- 申请专利人：
- 刘涛、胡佳琪、黄薏鸿、景炜昌、孙子杰、陈杉杉、杨树明
- 专利类型：
- 发明
- 专利状态：
- 授权专利
- 授权号：
- ZL202410894267.3
- 是否职务专利：
- 否
- 申请日期：
- 2026-07-04
- 授权日期：
- 2026-09-17
- 发布时间：
- 2026-09-30
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