6. MEMS器件性能及可靠性研究及定制化自动测试系统
课题组设计并开发针对MEMS器件的系列高精度自动测试系统。其中微型环控系统可对微型腔体的温度、湿度、真空度可进行闭环控制，并可集成于多种标准MEMS测试平台上、电学测量系统可对MEMS器件的各类电学参数进行高精度测量并对寄生参数进行补偿；光学测试系统可对器件振幅、谐振频率等特性进行精确测量。课题组设计与开发的MEMS器件可靠性批量化光电联合测试仪已在工业场景开展实际应用。
图10. 定制化MEMS器件微型自动测试系统
图11. MEMS器件可靠性批量化光-电联合自动测试系统