校内登录一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法. 专利号：2019106835534
发布时间：2026-07-20
- 专利名称：
- 一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法. 专利号：2019106835534
- 是否职务专利：
- 否
毛琦
电子邮箱：
所在单位：仪器科学与技术学院
学历：博士研究生毕业
性别：女
学位：博士
职称：助理研究员
学科： 仪器科学与技术
招生学科 仪器科学与技术
发布时间：2026-07-20
QQ答疑群
微信公众号
版权所有：西安交通大学 陕ICP备05001571号