- 学历： 博士研究生毕业
- 学位： 博士
- 所在单位： 仪器科学与技术学院
- 电子邮箱： 667798d132900ac6e5b667390bb060d127f372793eaff43f8f249c22326f9ee357d25dfd3bc71f1dc1e70b8f8622f9aaf20ed7e0d415c9792287917612a706db00198a6bf58791294b95382c2964ee548e4962071e967c513707482c005bc15744a7d8ab81ab5f5a5fc9f6454219828aa8d20669e680083cea32c937f990b519
一种包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法. 专利号：ZL202022169212.6
- 专利名称：
- 一种包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法. 专利号：ZL202022169212.6
- 是否职务专利：
- 否
- 发布时间：
- 2026-07-20
