校内登录高集成电路制造压印刻蚀技术的工艺研究
发布时间：2026-07-29
- 项目名称：
- 高集成电路制造压印刻蚀技术的工艺研究
- 项目状态：
- 进行中
- 项目分类：
- 纵向项目
- 项目来源：
- 国家自然科学基金项目
- 项目参与人员：
- 邱志惠
- 项目编号：
- 333
- 立项时间：
- 2003-01-01
- 结项日期：
- 2005-11-01
- 资助额度(万元)：
- 30.0
邱志惠
性别：女
职称：教授
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：
联系方式：
发布时间：2026-07-29
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