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基本信息

邱志惠

性别：女

职称：教授

所在单位：机械工程学院

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科研项目

IC制造中压印光刻工艺与设备的研究开发

发布时间：2026-07-29

项目名称：
IC制造中压印光刻工艺与设备的研究开发
项目状态：
进行中
项目分类：
纵向项目
项目来源：
“863”高科技项目
项目参与人员：
邱志惠
项目编号：
444444
立项时间：
2002-01-01
结项日期：
2005-12-01
资助额度(万元)：
400.0

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