机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析
发布时间：2025-04-30
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- 发布时间：
- 2025-04-30
- 论文名称：
- 机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析
- 发表刊物：
- 西安交通大学学报
- 摘要：
- 为研究正交偏振光相位法测量机床滚转角过程中，机床的俯仰、偏摆运动误差对测量精度的影响，建立了测量光路数学模型，利用琼斯矩阵法计算光路中光的偏振态变换过程并推导出被测滚转角与相位变化量间的测量公式。在此基础上，采用光的偏振和晶体光学理论，分析了测量过程中机床俯仰、偏摆运动误差造成的敏感元件（即 1/2 波片）倾斜所引起的测量误差。分析结果表明,1/2 波片在倾斜角度小于 2°的情况下所引起的测量误差小于 0.1%，对测量精度影响较小，论证了正交偏振光相位法高精度测量机床滚转角的可行性。
- 合写作者：
- 钟丽红, 王昭, 汤善治, 高建民, 郭俊杰
- 卷号：
- 47(5)
- 页面范围：
- 6pp
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2013-03-15