MEMS传感器

基于第三代半导体的极端环境MEMS传感器及测试技术

 

精密超精密加工

基于分子动力学仿真的精密超精密加工机理研究

柔性智能传感

基于聚合物纤维的柔性智能传感系统

 

晶圆测试MEMS探针

基于UV-LIGA技术的晶圆测试MEMS微探针

 

 

研究项目

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项目编号 项目名称 项目来源 起讫时间 承担角色 项目类别
517XXXX 全碳化硅高温压力传感器XXX技术研究 国家自然科学基金项目 2022-01~2025-12 负责人 纵向项目
2022MG0AB03 软体机器人疼痛感知的一体化集成柔性应变传感器研究 之江实验室开放基金 2022-01~2024-12 负责人 纵向项目
XXXXXX GF -JCJQ 基于MEMS技术XXXXXX研究 基础加强 2021-01~2023-12 负责人 纵向项目
HFCXY202017 XX压力传感器研制 中航发集团 2021-01~2022-12 负责人 纵向项目
XXXX MEMS探针技术 企业 2020-01~2021-12 负责人 横向项目
xpt012020006 基本科研业务费-骨干培植项目 中央高校基本科研业务费 2020-01~2020-12 负责人 纵向项目
61428010215 专用集成电路重点实验室基金 装备预研 2019-01~2020-12 负责人 纵向项目
51703180 高强度聚甲醛纤维的凝胶纺丝制备及其成型机理研究 国家自然科学基金项目 2018-01~2020-12 负责人 纵向项目
XXXXXX 博士后基金特等资助 博士后基金 2018-01~2020-12 负责人 纵向项目
20条目 每页

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