基于第三代半导体的极端环境MEMS传感器及测试技术
Research - 方 续东
基于分子动力学仿真的精密超精密加工机理研究
基于聚合物纤维的柔性智能传感系统
基于UV-LIGA技术的晶圆测试MEMS微探针
| 项目编号 | 项目名称 | 项目来源 | 起讫时间 | 承担角色 | 项目类别 |
|---|---|---|---|---|---|
| 517XXXX | 全碳化硅高温压力传感器XXX技术研究 | 国家自然科学基金项目 | 2022-01~2025-12 | 负责人 | 纵向项目 |
| 2022MG0AB03 | 软体机器人疼痛感知的一体化集成柔性应变传感器研究 | 之江实验室开放基金 | 2022-01~2024-12 | 负责人 | 纵向项目 |
| XXXXXX | GF -JCJQ 基于MEMS技术XXXXXX研究 | 基础加强 | 2021-01~2023-12 | 负责人 | 纵向项目 |
| HFCXY202017 | XX压力传感器研制 | 中航发集团 | 2021-01~2022-12 | 负责人 | 纵向项目 |
| XXXX | MEMS探针技术 | 企业 | 2020-01~2021-12 | 负责人 | 横向项目 |
| xpt012020006 | 基本科研业务费-骨干培植项目 | 中央高校基本科研业务费 | 2020-01~2020-12 | 负责人 | 纵向项目 |
| 61428010215 | 专用集成电路重点实验室基金 | 装备预研 | 2019-01~2020-12 | 负责人 | 纵向项目 |
| 51703180 | 高强度聚甲醛纤维的凝胶纺丝制备及其成型机理研究 | 国家自然科学基金项目 | 2018-01~2020-12 | 负责人 | 纵向项目 |
| XXXXXX | 博士后基金特等资助 | 博士后基金 | 2018-01~2020-12 | 负责人 | 纵向项目 |
