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课题组在光谱和薄膜电学等测量方面提出了一些新测量方法,并推出新仪器和新软件
发布者: 鲁广昊 | 2022-11-26 | 11717

近年来,课题组在光谱测量、薄膜晶体管电学测量方面,提出一些新的测量方法和计算模型,推出多台原位检测和产线在线监测设备。在秦创原支持下,课题组通过自主孵化的科技型仪器公司,面向光电薄膜企业、科研院校等推出产线监测、薄膜测量系列设备,被北京大学、清华大学、中国科学院等著名机构采购。仪器各类用户超过100多家。

空间分辨光谱方面,研发推出的原位测试产品包括:薄膜断层吸收光谱仪、薄膜断层反射光谱仪、薄膜红外光谱仪、薄膜微区多光谱仪;

时间分辨光谱方面,推出的原位监测产品:快速多光谱联用仪、荧光光散射同步仪、变温多光谱仪;

薄膜电学测试方面,研发推出的原位检测仪器:薄膜迁移率快速测量仪;

机器视觉监测方面,推出:多光谱联用自动过柱机、薄膜加工在线监测仪。

在测量方法和测量软件方面,课题组申请发明专利和软件著作权近10项,在仪器类顶级期刊Review of Scientific Instruments发表多篇论文。近年来,课题组团队面向社会进行复合型人才招聘,对研究生进行多学科交叉培养,逐步建立了集基础创新、仪器研制、软件开发、应用推广于一体的复合型课题组。通过“市场”快速发现科学问题,通过“需求牵引”发挥市场在科学研究中的作用,通过技术攻关培养学生创新创业新理念。