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专利

专利名称    一种纳米硅/氮化硅薄膜型电子源及其制作方法
申请号    2014105588931
专利类型    发明
发明人    胡文波; 樊金龙; 赵晓磊; 吴胜利; 张劲涛
申请日期    2014.10.20
代理人    陆万寿
学院    电子与信息学部
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