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专利

专利名称    一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置及获得方法
申请号    2019108126547
专利类型    发明
发明人    王宏兴，刘璋成，赵丹，胡文波，吴胜利
申请日期    2019.08.30
代理人   
学院    电子与信息学部
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