一 辊压印机
本团队所作的光栅尺辊压印机可以实现线纹周期为4-40μm,长度为2m 高精度光栅尺(玻璃基底)及柔性超长光栅(50m以上) 的连续制造。
二 光栅尺读数系统
本团队所作的旋转曝光台采用步进式光刻工艺方法,将平面掩模版上光栅微结构通过多步光刻方法转移至整个圆周表面,使筒状模具表面具有光栅微结构的光刻胶掩蔽层。
此模具为辊压印光栅母版模具,以此模具为母版可以实现高精度,高效率、低成本、大面积的光栅尺胚的制造。
本团队所作的柔性二维微结构的应用面很广,如光学和光电子工程及生物医疗领域。
四 光学透镜
本团队所作的光学透镜为球面透镜,上面具有一定的微纳米结构,具有较为特殊的光学性能。
八 PDP障壁
本团队制备的PDP障壁利用金属障壁结构可以复制出大量的障壁结构,实现批量化生产。障壁在彩色等离子体平板显示( PDP)中的作用是防止本单元的紫外光激发相邻单元的荧光粉,引起光的串扰;防止本单元的电荷及外加电场作用到不该作用的相邻单元引起电串扰。另外,由于障壁增加放电电荷存贮的表面积,增加了存储能力。
九 微结构复型
对于复杂异形体结构的制造一直以来是一件比较困难的事情,采用机械加工方法或激光制作法,由于有热和力的作用,对微结构表面都会有破坏作用,因此需要找出一种简单高效的方法。采用复型制造的方法,可以精确的将微结构进行复型,这种方法成本低而且可以批量生产,对复杂异形体的复型制造是一种有效的方法。
平面光栅主要用于光谱分析和光波长的测量等方面,理想的反射式平面光栅,可视作是相互平行,等宽,等间距,均匀排列的许多狭缝。大面积高线数面光栅的制造在国内外一直是难题,对军事尤其对于国家“点火计划”的实施至关重要,因此,如何低成本、精确的复型制造大面积高线数面光栅,已成为人们关注的热点。如图为复型的1740线高线数面光栅,复型过程中需保证面光栅面型平整而且结构完整。