- Li B, Zhao Y*, Li C, et al. A Differential Resonant Accelerometer with Low Cross-Interference and Temperature Drift:[J]. Sensors, 2017, 17(1):178，
- Li, B, Li, C, Zhao, Y* et al. Deep Reactive Ion Etching of Z-Cut Alpha Quartz for MEMS Resonant Devices Fabrication. Micromachines, 2020, 11(8), 724.
- Bo Li, Yulong Zhao*, Xin Ma, Cun Li, et al. Design of a Resonant Accelerometer Integrated with a Diamond Like Carbon Film Temperature Sensor[C]. 2017 IEEE SENSORS
- Bo Li, Cun Li, Yulong Zhao, Y* et al. An Integrated Packaged Resonant Accelerometer with Temperature Compensation [J].Review of Scientific Instruments
- Hong Xue; Zichao Zhang; Jiabin Ai; Cun Li; Bo Li*; Yulong Zhao; Aihua Wang ; Dynamic process of wet etching using BOE solutions to control the etch rate, roughness, and surface morphology of a Z-cut α-quartz wafer , Ceramics International, 2024, 50(14): 25978 25987
- Li Cun, Zhao Yulong*, Li Bo, Cheng Rongjun, Sun Dengqiang, et al. A micro-machined differential resonance accelerometer based on silicon on quartz method [J]. Sensors and Actuators A: Physical, 2017, 253: 1-9.
科研成果/Publication - 李 波
| 项目编号 | 项目名称 | 项目来源 | 起讫时间 | 承担角色 | 项目类别 |
|---|---|---|---|---|---|
| 202412106 | 专利：应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计专利权转让合同 | 成果转化 | 2024-11~2026-11 | 负责人 | 纵向项目 |
| sklms2024011 | MEMS石英谐振加速度计关键技术研究 | 重点实验室开放课题研究基金 | 2024-06~2026-05 | 负责人 | 纵向项目 |
| SAST2023-056 | 基于MEMS工艺***关键技术研究 | 上海航天科技创新基金 | 2024-01~2025-12 | 负责人 | 纵向项目 |
| 2021YFB201203HZ | 微型高性能加速度传感器集成与封装技术研究 | 科技部重点研发项目子课题 | 2021-12~2024-11 | 负责人 | 纵向项目 |
| xhj032021016-05 | 微型高精度全石英谐振加速度传感器 | 基本科研业务费 | 2021-08~2023-12 | 负责人 | 纵向项目 |
(1) 李波; 卜凯; 赵玉龙; 李村; 白冰; 薛闳; 艾嘉宾; 周圣翔 ; 应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及 石英谐振加速度计, 2024-11-22。
(2) 赵玉龙; 李波; 李村; 程荣俊; 赵建华 ; 一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片, 2020-6-2。
(3) 赵玉龙; 李波; 李村; 孙登强; 赵建华 ; 一种数字式差动型微加速度计, 2019-4-9。
(4) 赵玉龙; 孙登强; 李波; 李村; 韩超 ; 基于FPGA+SOPC的石英振梁谐振式传感器测试系统, 2020-03 31。
(5) 赵玉龙; 黄振秋; 李村; 李波; 韩超; 白冰 ; 一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计, 2021-05-14。
(6) 李村; 赵玉龙; 黄振秋; 李波; 韩超; 白冰 ; 一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计, 2021 05-07。
(7) 李村; 赵玉龙; 韩超; 李波; 张全伟; 白冰 ; 一种压电石英结构的微加工工艺方法及应用, 2021-11 19。
(8) 赵玉龙; 韩超; 李村; 李波; 张琪; 赵友 ; 一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片, 2019-12-31。
(9) 李村; 韩超; 赵玉龙; 李波; 张全伟; 白冰 ; 基于QoS工艺的加速度计芯片及加工工艺和加速度计, 2020-03-17。
(10) 李村; 黄振秋; 赵玉龙; 韩超; 李波; 蒋庄德 ; 一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度 计, 2022-08-05。
