【M3_Lab科研进展】课题组硕士生 杨宇杰 关于MEMS纳力传感器无损自动化探针组装工作在1区Top期刊 IEEE Transactions on Industrial Electronics 发表
发布时间:2026-03-13
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- 2026-03-13
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- 【M3_Lab科研进展】课题组硕士生 杨宇杰 关于MEMS纳力传感器无损自动化探针组装工作在1区Top期刊 IEEE Transactions on Industrial Electronics 发表
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论文提出了一种利用机器人显微操作系统在MEMS力传感器末端原位组装高长径比玻璃管纳米探针的方法,并在课题组自研MEMS纳力传感器上进行了验证实验。实验结果发现本方法不仅不会破坏传感器结构,更几乎对器件的性能几乎无任何降低,且大幅提升了器件的空间分辨率和操作自由度,首次实现了nN量级体细胞显微注射力的实时高频精准监测,获得了审稿人的一致认可,成功发表于仪器仪表领域1区Top期刊 IEEE Transactions on Industrial Electronics。







