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微加工超声换能器技术
随着微纳制造与智能传感技术的发展，传统超声换能器在体积、集成度和阵列化方面的局限日益突出。微加工超声换能器技术主要研究基于MEMS工艺的微型声电转换器件及其阵列结构，旨在提升成像分辨率、探测灵敏度与系统集成能力，对医学成像、无损检测和智能感知具有重要意义。
