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潘毅

教授博士生导师硕士生导师

学历：博士研究生毕业
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院

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全真空装备9 - 专利授权：一种超高真空多源共沉积装置

发布时间：2025-10-23

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发布时间：: 2025-10-23

文章标题：: 全真空装备9 - 专利授权：一种超高真空多源共沉积装置

内容：

该专利主要完成人为本组2024届毕业生张又麒和25届毕业生刘逸凡，两人均从事半导体芯片制造工艺研发工作。