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发布时间：2025-10-23
发布时间：2025-10-23
文章标题：全真空装备9 - 专利授权：一种超高真空多源共沉积装置
内容：
该专利主要完成人为本组2024届毕业生张又麒和25届毕业生刘逸凡，两人均从事半导体芯片制造工艺研发工作。
潘毅 (教授)
博士生导师 硕士生导师
电子邮箱：
所在单位：材料科学与工程学院
学历：博士研究生毕业
办公地点：
性别：男
联系方式：
学位：博士
学科：半导体材料与器件
物理学
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