研究方向
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• 原子尺度超精密加工 |
• 半导体芯片基板超精密抛光 |
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• 光学元件超精密抛光 |
• 电化学机械复合抛光 |
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• 超声振动辅助加工 |
• 表面微结构加工 |
招生代码
• 硕士招生目录
080200 机械工程
11(全日制)激光微细加工及应用
33(全日制)精密超精密加工及光电测试技术与装备
47(全日制)微纳制造
• 博士招生目录
29(全日制)精密超精密加工及智能检测技术与装备
42(全日制)微纳制造
联系方式
Email： yangx@xjtu.edu.cn
微信： yx-ever
邮编： 710049
地址： 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
西安交通大学机械工程学院精密工程研究所
