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研究方向

• 原子尺度超精密加工

• 半导体芯片基板超精密抛光

• 光学元件超精密抛光

• 电化学机械复合抛光

• 超声振动辅助加工

• 表面微结构加工

 

招生代码

• 硕士招生目录

080200 机械工程

11(全日制)激光微细加工及应用

33(全日制)精密超精密加工及光电测试技术与装备

47(全日制)微纳制造

 

• 博士招生目录

29(全日制)精密超精密加工及智能检测技术与装备

42(全日制)微纳制造

 

联系方式

Email yangx@xjtu.edu.cn
微信:  yx-ever

邮编:   710049
地址:  陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

        西安交通大学机械工程学院精密工程研究所