| 研究领域 |
| 机械工程 |
| 仪器科学与技术 |
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| 研究方向 |
| 微型机械电子系统（MEMS）与微纳米技术 |
| 精密仪器与传感器技术 |
| 精密光电测试技术 |
| 精密与超精密加工技术等 |
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| 科研项目 |
| 国家自然科学基金重点项目2项、国家自然科学基金项目3项、国防青年基金项目1项 |
| | 项目名称 | 项目编号 | 起始时间 | 结束时间 | | 纳米制造中的计量溯源与测试理论研究 | 90923001 | 2010.01 | 2013.12 | | 微型机械电子系统（MEMS）测试计量技术与理论研究（重点项目） | 50535030 | 2006.01 | 2009.12 | | 高精度圆柱面、球面的测试、评定研究 | | 1990.01 | 1992.12 | | 分维几何学在机械加工表面精度评定中的应用研究 | 59575079 | 1996.01 | 1998.12 | | 微机械构件的服役性能与制备工艺关系的研究 | 59775074 | 1998.01 | 2000.12 |
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| 国家863计划重点项目3项、国家863计划预研项目1项 |
| | 项目名称 | 项目编号 | 起始时间 | 结束时间 | | 耐高温微型压力传感器实用化开发 | 2002AA430070 | 2002.10 | 2003.06 | | 面向石化等重要行业的MEMS压力传感器制造技术与实用化研究 | 2004AA404220 | 2004.10 | 2005.06 | | MEMS多传感器及阵列传感器研究 | 2005AA404210 | 2005.07 | 2005.12 | | 耐高温压力传感器技术研究 | 101-01 | 2000.10 | 2001.08 |
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| 973子项目4项 |
| | 项目名称 | 项目编号 | 起始时间 | 结束时间 | | 微机械材料力学特性相关问题研究 | G1999033103 | 2000.01 | 2003.12 | | 高性能电子产品设计制造精微化、数字化新原理和新方法 | 2003CB716201 | 2004.01 | 2007.01 | | 材料若干介观性能的表征及其尺度效应 | 2004CB619302 | 2006.01 | 2009.10 | | 晶圆表面加工中几何参数的纳米精度在线测量方法与表征 | 2009CB724207 | 2009.01 | 2010.12 |
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| “高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项1项 |
| | 项目名称 | 项目编号 | 起始时间 | 结束时间 | | 超精密车磨复合加工机床 | 2011ZX04004-061 | 2011.01 | 2013.12 |
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| 教育部重点项目1项、教育部博士点基金项目3项 |
| | 项目名称 | 项目编号 | 起始时间 | 结束时间 | | 微型三坐标测量机 | 00117 | 2000.03 | 2002.12 | 应用原子力显微镜进行纳米结构样板的制造研究 | 2000GJ10 | 2000.06 | 2001.12 | 单超微电极和复合探针的制备及其相关问题研究 | 20060698009 | 2006.12 | 2008.12 | | 光盘表面微观形貌在线检测技术的研究 | 1999069821 | 1999.12 | 2001.12 |
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| 国际科技合作项目3项 |
| | 项目名称 | 合作单位 | 项目编号 | 起始时间 | 结束时间 | | 微发动机内的多参数集成传感器关键技术研究 | 英国伯明翰大学 | 2006DFA73620 | 2007.01 | 2008.12 | | 多功能集成传感器芯片 | 韩国三星综合技术研究院 | 04与韩合作 | 2004.06 | 2006.03 | | 西安交大—韩国三星MEMS联合实验建设 | 韩国三星综合技术研究院 | 03与韩合作01 | 2003.11 | 2005.01 |
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| 省部级及军口项目等多项 |
| | 项目名称 | 项目编号 | 起始时间 | 结束时间 | | 陕西省微纳传感器工程技术研究中心 | 2008ZDGC-05 | 2008.12 | 2011.12 | | 微型机械电子系统及相关IC设计研究 | 2003KW-04 | 2004.03 | 2006.03 | | 输气管线光纤智能在线检测仪 | 2003K05-G28 | 2003.11 | 2004.12 | | 光纤液位传感器 | 20020324 | 2002.03 | 2002.07 | | MEMS研究与应用 | 2001K06-G2 | 2001.10 | 2002.12 | | 棉条检测硅微传感器 | 20010630 | 2001.06 | 2003.06 | | 高精度三维物体轮廓测量系统 | 2000K08-G22 | 2000.01 | 2002.12 | | 耐高温高压微型油气井压力测试仪 | 04省经贸 | 2003.01 | 2004.12 |
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(创新港)
