微结构光学功能元件在国防军事、消费电子等领域应用前景广阔，采用碳化钨、碳化硅、氮化硅模具的玻璃模压技术可实现超精密、大批量、低成本生产。目前的金刚石微细砂轮难以实现硬脆材料模具微结构的高效率、低损伤磨削。针对此，研制了基于Ni-P-金刚石化学复合镀的微细砂轮制备装置，提出了双络合剂+双稳定剂的高稳定性化学镀液配方，开发了微细复合加工机床。
微结构光学功能元件在国防军事、消费电子等领域应用前景广阔，采用碳化钨、碳化硅、氮化硅模具的玻璃模压技术可实现超精密、大批量、低成本生产。目前的金刚石微细砂轮难以实现硬脆材料模具微结构的高效率、低损伤磨削。针对此，研制了基于Ni-P-金刚石化学复合镀的微细砂轮制备装置，提出了双络合剂+双稳定剂的高稳定性化学镀液配方，开发了微细复合加工机床。