基本信息

 

杨旭  

教授  博导

 

国家级青年人才

西安交通大学青年拔尖人才

思源学者

 

依托平台：蒋庄德院士团队

精密微纳制造技术全国重点实验室

微纳制造与测试技术国际合作联合实验室

高端装备协同创新中心

联系方式

地址： 西安交通大学机械工程学院

       精密工程研究所

邮编： 710049

微信： yx-ever

Email：yangx@xjtu.edu.cn

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个人简介

    杨旭，西安交通大学机械工程学院教授。2016-2019年，于日本大阪大学攻读博士学位，毕业后任日本大阪大学精密工学系特任助理教授，2022年6月全职加入西安交通大学机械工程学院蒋庄德院士团队。主要研究方向为原子尺度超精密抛光、电化学机械复合加工、超声辅助抛光、机床动态特性等。在International Journal of Machine Tools & Manufacture、ACS Appllied Materials & Interfaces、Journal of Manufacturing Processes等国际顶级SCI期刊发表论文37篇，获授权发明专利11项，申请日本发明专利4项；获日本马扎克财团杰出论文奖、多次获中日联合超精密加工国际会议（CJUMP）最佳论文奖和青年科学家奖,入选日本精密工学会青年会员。

长期从事第三代半导体芯片基板超精密加工方法研究及设备工艺开发，尤其在大口径碳化硅（SiC）晶圆的高效无损超精密抛光方面处于国际领先水平，与多个世界500强企业建立有密切长期合作关系。

教育及工作经历

工作经历

01/2024 – 至今       教授，西安交通大学

06/2022 – 12/2023     副教授，西安交通大学

10/2019 – 04/2022     特任助理教授，日本大阪大学物理学系专攻精密工学コース  

 

教育经历

10/2016 – 09/2019     大阪大学，日本         精密科学与应用物理学       工学博士

09/2013 – 06/2016     厦门大学               仪器仪表工程               工学硕士

06/2014 – 06/2015     中国工程物理研究院

                    成都精密光学工程研究中心                          联合培养硕士

09/2009 – 06/2013     厦门大学               测控技术与仪器             工学学士

研究领域

• 原子尺度超精密加工

• 半导体芯片基板超精密抛光

• 光学元件超精密抛光

• 电化学机械复合抛光

• 超声振动辅助加工

• 表面微结构加工

 

欢迎机械工程，仪表科学与技术，电化学，材料科学，物理和力学及其相关交叉学科背景的硕士、博士研究生和博士后。

学术活动

邀请报告（Invited Report）

  • The 3rd Advanced Optical Fabrication for Analyzer Technologies (ADOPTECH2022), Online, Japan.

会议报告（Conference Report）

  • The 16th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP 2022), Jinan, China
  • The 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2021), Niseko, Japan.
  • 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2020), Kobe, Japan.
  • The 22nd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2019), Shenzhen, China.
  • The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2019), Matsue, Japan.
  • International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2019), Kyoto, Japan.
  • The 15th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP 2019), Maebashi, Japan.
  • The 14th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP 2018), Harbin, China.
  • The 21st International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2018), Toronto, Canada.
  • The 19th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM 2018), Bilbao, Spain.
  • The 13th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP 2017), Shanghai, China.
  • 2021年度精密工学会秋季大会学術講演会，Online，日本
  • 2021年度砥粒加工学会学術講演会，Online，日本
  • 2021年度精密工学会春季大会学術講演会，Online，日本
  • 2020年度精密工学会秋季大会学術講演会，Online，日本
  • 2020年度精密工学会春季大会学術講演会，东京，日本
  • 2019年度精密工学会春季大会学術講演会，东京，日本
  • 電気加工学会全国大会（2018），大阪，日本
  • 2018年度精密工学会秋季大会学術講演会，函館，日本
  • 精密工学会2018年度関西地方定期学術講演会，大阪，日本
  • 2018年度精密工学会春季大会学術講演会，东京，日本

分会主席（Session Chairman）

  • The 16th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP 2022), Jinan, China

客座编辑（Guest Editor）

  • Machines (JCR Q2, IF: 3.7), 特刊Advanced Processes and Technologies in Precision and Ultra-Precision Machining

  • machines-logo

学会会员（Membership）

  • The Japan Society for Precision Engineering

日本精密工学会青年会员（JSPE Affiliate），2022-至今

  • The Japan Society for Precision Engineering

日本精密工学会，2017-至今

公益社団法人 精密工学会

  • The Japan Society for Abrasive Technology

日本砥粒加工学会，2017-2022

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