【M3_Lab科研进展】课题组关于MEMS仿生电容式微纳力传感器成果在仪器仪表顶级期刊IEEE TIE发表 (1区Top)
发布时间：2022-08-17
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- 【M3_Lab科研进展】课题组关于MEMS仿生电容式微纳力传感器成果在仪器仪表顶级期刊IEEE TIE发表 (1区Top)
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课题组研制了一款仿生MEMS电容式纳力传感器，利用机器人显微镜系统，实现了亚nN力，pm位移，微操控角度的精确测量。
该工作发表在测量领域著名国际期刊IEEE Transactions on Industrial Electronics（中科院仪器仪表，自动化系统领域1区Top，2022年影响因子8.162)。
具体研究方案受到本文通讯作者 赵立波 教授的大力指导，研究进展在蒋庄德 院士，香港城市大学 孙东 院士的指导下完成；实验得到精密工程研究所 刘涛 副教授课题组与 韦学勇 教授课题组，机械制造系统工程国家重点实验室 朱楠 工程师协助。感谢各位合作者！
