【M3_Lab科研进展】课题组关于MEMS仿生电容式微纳力传感器成果在著名测量类期刊Measurement 发表 (2区)
发布时间：2022-07-23
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- 【M3_Lab科研进展】课题组关于MEMS仿生电容式微纳力传感器成果在著名测量类期刊Measurement 发表 (2区)
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该工作受到燕鸥滑翔姿势的启发，提出并制备了具有亚nN量级力测量分辨率的MEMS变面积式力传感器，并利用ASICS芯片集成输出，不仅替代了传统微小力学量检测对复杂仪器设备的需求，同时实现了灵敏度，量程，分辨率的同步提升。
该工作发表在测量领域著名国际期刊Measurement（中科院2区，接收率21%，2022年影响因子5.131)。具体研究方案受到本文通讯作者 赵立波 教授的大力指导，研究进展在蒋庄德 院士，香港城市大学 孙东 院士的指导下完成，试验使用材料得到精密工程研究所 刘涛 副教授 与 机械制造系统工程国家重点实验室 朱楠 工程师协助，感谢！
