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当前位置: Yi Pan group >> News全真空装备7 - 专利授权：一种超高真空环境多功能样品台及样品原位图案化的方法
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发布时间：2023-04-07
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文章标题：全真空装备7 - 专利授权：一种超高真空环境多功能样品台及样品原位图案化的方法
内容：
该专利主要完成人为已经在本组2021届毕业生吴迪博士，他目前从事半导体芯片制造工艺相关设备研发工作。
潘毅 (教授)
博士生导师 硕士生导师
电子邮箱：
所在单位：材料科学与工程学院
学历：博士研究生毕业
办公地点：
性别：男
联系方式：
学位：博士
学科：半导体材料与器件
物理学
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