(1)微纳制造:开展超声换能器、刚性 MUT单元及MEMS芯片封装测试研究,发展高性能MEMS超声器件与集成工艺

(2)声学传感:基于声学换能器和声学传感阵列,开展声场、振动及生理声学信号的高灵敏感知、信号处理与前沿应用研究

(3)具身智能:融合 MEMS 超声感知、多模态信号处理与智能识别算法,开展机器人触觉感知、非接触人机交互等研究

(4)仪器装备:面向工业缺陷检测与结构健康监测需求,研究声/磁检测、缺陷识别与声/磁成像仪器与系统

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