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面向国家在高端制造、智能感知与仪器装备领域的重大需求,坚持“需求牵引、理论支撑、应用拓新”的发展理念,以微纳制造为技术基础、声学传感为特色优势、具身智能为融合方向、仪器装备为应用载体,构建多学科交叉、基础研究与工程应用协同发展的研究体系。通过贯通“基础理论—核心器件—智能系统—工程应用”全链条体系,推动微纳技术、声学感知、人工智能与高端装备深度融合,形成从原创机理、关键器件到系统集成和产业应用的创新能力,为先进制造、重大装备安全运维及智能工业发展提供重要的理论基础、技术支撑与装备保障。

(1)微纳制造:开展超声换能器、刚性 MUT单元及MEMS芯片封装测试研究,发展高性能MEMS超声器件与集成工艺

(2)声学传感:基于声学换能器和声学传感阵列,开展声场、振动及生理声学信号的高灵敏感知、信号处理与前沿应用研究

(3)具身智能:融合 MEMS 超声感知、多模态信号处理与智能识别算法,开展机器人触觉感知、非接触人机交互等研究

(4)仪器装备:面向工业缺陷检测与结构健康监测需求,研究声/磁检测、缺陷识别与声/磁成像仪器与系统
