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面向国家在高端制造、智能感知与无损检测领域的重大需求,坚持“需求牵引、理论支撑、应用拓新”的发展理念,致力于微纳制造、声学传感、无损检测与具身智能的交叉融合。发展高性能MEMS超声器件与集成工艺,构建高灵敏声学感知与智能处理系统,突破工业无损检测与机器人触觉感知中的关键技术,推动“感知-处理-交互”一体化的智能传感系统在多领域的创新应用。
主要研究方向包括:
(1)微纳制造:开展超声换能器、刚性 MUT 单元及 MEMS 芯片封装测试研究,发展高性能 MEMS 超声器件与集成工艺;
(2)声学传感:基于声学换能器和声学传感阵列,开展声场、振动及生理声学信号的高灵敏感知、信号处理与前沿应用研究;
(3)无损检测:面向工业缺陷检测与结构健康监测需求,研究声/磁检测、缺陷识别与声/磁成像技术;
(4)具身智能:融合 MEMS 超声感知、多模态信号处理与智能识别算法,开展机器人触觉感知、非接触人机交互等研究。



