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  • 教师姓名： 闵超庆
  • 性别： 男
  • 学历： 博士研究生毕业
  • 学位： 博士
  • 所在单位： 机械工程学院
  • 毕业院校： 德国伊尔梅瑙工业大学

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一种半导体PVD薄膜厚度预测与闭环修正方法及系统

发布时间：2026-10-15
点击次数：
专利名称：
一种半导体PVD薄膜厚度预测与闭环修正方法及系统
第一作者：
梅雪松
申请专利人：
张玉鑫,闵超庆,施虎,姜歌东
专利类型：
发明
专利状态：
授权专利
申请号：
202611341779.2
是否职务专利：
否
申请日期：
2026-09-01
授权日期：
2026-10-15
发布时间：
2026-10-15

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