1. 所在团队：

   教育部“微纳传感与控制”创新团队，负责人：赵玉龙 教授（https://gr.xjtu.edu.cn/zhaoyulong/zh_CN/index.htm）

2. 研究方向：

（1）MEMS微纳传感芯片的建模、仿真与优化

• 基于石英谐振技术的MEMS加速度计、陀螺、压力传感器芯片；

• 高频、高温、高精度的压阻式MEMS传感器芯片；

• 基于SOI技术的耐高温MEMS传感器芯片；

• 人工智能算法辅助传感器设计方法。

（2）微纳制造工艺

• 复杂单晶石英MEMS芯片的制备工艺；

• 压阻式硅MEMS芯片制备工艺；

• 3D无应力微装配工艺技术；

• 工艺参数对传感器的性能影响机理。

（3）智能传感器及软硬件信号处理电路开发

• 硅MEMS智能传感与系统；

• 闭环谐振电路及其噪音产生机理；

• FPGA、单片机与ARM系统的嵌入式开发；

• 误差机理与性能补偿电路。